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zeta-20轮廓仪

发布时间 : 2019-07-19 14:04:05

图片1.pngZeta-20三维光学轮廓仪

Zeta-20

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卓越的三维成像和测量

基于ZDot?专利技术,Zeta-20A可以对近乎所有材料和结构进行成像分析,从超光滑到高粗糙度、低反射率到高反射率表面、透明到不透明介质。Zeta-20A使用模块化设计理念,为用户提供了一系列的硬件和软件选项来满足各种不同的测量需求,所有硬件安装和操作都简单易用。

1563515857152543.png多功能光学测试模组

Zeta-20A提供多种光学测试技术满足用户各种领域测试需求

? ZDotTM ?Z点阵专利三维成像技术是Zeta所有系列产品的标配技术,

Z点阵独特的明暗场照明方案结合不同物镜帮助客户测量最“困难”的表面。

? ZIC 干涉反衬成像技术,实现纳米级粗糙度表面的成像及分析。

? ZSI 白光差分干涉技术,垂直方向分辨率可达埃级。

? ZX5 白光干涉技术,大视场下纳米级高度的理想测量技术。

? ZFT 反射光谱膜厚分析技术,集成宽频反射光谱分析仪,可测量薄膜材料的

厚度、折射率和反射率。 ????????????????????????????????????????

测量通道和精度

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微流体器件(mm) ? ? ? ? ? ? ? ? ??IC晶圆表面(nm) ? ? ? ? ? ? ? ? ?MEMS器件(um

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微齿轮/微机械 (mm) ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?激光打孔(?) ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 磁盘倒边(?)

光学系统参数

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金刚刀划线标记缺陷

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Zeta-20标配系统

硬件和软件可选项




超大深度成像

标配Z点阵(ZDot)

双高亮度LED光源

真彩色CCD相机(1/3"),1024×768像素

30/秒,数据采集

单耦合镜,四种规格可选

5物镜手动转台

自动聚焦

最大25mm垂直扫描/(20×,长工作距离)

40mm垂直工作距离(可扩展至100mm)

标准物镜:2.5×,5×,10×,20×,50×,100×

特殊物镜:长工作距离,浸没物镜,TTM物镜

白光干涉模组(ZX5)X5物镜,压电陶瓷载台

Nomarski模组(ZIC):棱镜,起偏器,检偏器

反射光谱膜厚测试模组(ZFT)

白光差分干涉技术(ZSI)0.5?分辨率,0.1nm台阶高度测试能力

高分辨率相机(1/2",1920×1440像素)

背光LED

自动物镜识别/6物镜自动转台

耦合镜:1×,0.63×,0.5×,0.35×


载台


高精度Z轴传动

自动100mm×100mm载台

可配置载物台(开放设计)

压电陶瓷载台(0.2nm步距,100μm传动距离)

 自动XY载台(100mm×100mm)

倾斜载台(±20?deg)


高精度倾斜载台(±6?deg)


手动旋转载台


卡盘适用尺寸:2"-8"圆形,5"6"方形


硬盘卡盘:65mm-95mm


适于背光卡盘


可定制特殊卡盘


非接触测量台阶高度,表面粗糙度,特征尺寸,如直径,面积,体积等

ZMORF先进的数据分析软件

允许同一视场中存在超低反射率(0.5%)和超高反射率(85%)区域

最大4"晶圆曲翘度测量

透明/半透明材质测量

膜厚测试光谱仪,可见光(适用于膜厚30nm-10μm)

透明或半透明多层结构分析

自动图像拼接

高粗糙度和高深宽比结构分析

自动多点量测

自由调节水平测量

先进软件分析包

RaRqRzRskRk以及其它ISO4287参数

离线分析软件

SaSqSzSskSk以及其它ISO25178参数

多种应用Recipe

基于颜色和高度的区域筛选分析

?????PSS量测

三维成像软件,可进行滤波,真假色切换,缩放,旋转等

?????金刚线

定制的报告格式

?????金刚石研磨垫

简易文件管理和多格式数据输出

?????太阳能单晶/多晶绒面

时间:30秒内/

?????太阳能细栅线


?????太阳能主栅线


?????太阳能电池片曲翘度

电脑配置要求

处理器: ?Intel Dual Core

操作系统: ?Windows 7, 64

内存: ?4GB RAM (16GB 推荐), ?320 GB HDD

显示器: ?24-inch LCD, 1920 x 1200 像素

振动要求

内置防震适用于大多数应用

可选被动和主动防震台

可选隔音罩

技术支持

质保: 一年(含人工)

软件: 两年内免费升级

使用手册: 随货附送

维修手册: 可选维修培训

校准: 权威机构认证台阶高度和膜厚标样片

厂务要求

电源: ?100 ?230 VAC, 2 A

工作温度: ?15° – 30° C, 非冷凝

真空 (可选): ?600 mm Hg

设备尺寸(W x D x H): 36 x 48 x 61 cm

工作站尺寸: 52 x 66 x 51 cm

重量: ?29.5 kg

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